- LEDウエハ検査システムの概要
- 「お客様の装置」に「当社の画像処理・照明光学」を搭載し、検査システムを構築するという受託開発案件です。
開発事例①は、LEDウエハの検査システムです。
対象物LEDウエハが、ローダー／アンローダーから検査用XYステージに自動供給されます。
供給されたLEDウエハは、検査ステージにセットされ吸引搬送されます。検査は、上面のみ1台のカラーラインセンサーでLEDウエハ全体を検査します。LEDウエハ全体の検査(スキャン)が終われば、判定結果をHMI画面に表示してオペレータに全LEDチップの良否判定を通知します。
