製品紹介 About Goods

受託開発

V-IPUを適用した開発事例① LEDウエハ検査装置

V-IPU LEDウエハ

エンゴータ同期 ラインカメラ 検査ステージ X軸 Y軸 Z軸 θ軸 4軸制御 映像信号 画像検査 画像処理装置V-IPU
  • 特徴
  • 仕様

LEDウエハ検査機の概要

対象物LEDウエハが、ローダー/アンローダーから検査用XYステージに自動供給されます。
供給されたLEDウエハは、検査ステージにセットされ吸引搬送されます。検査は、上面のみ1台のカラーラインセンサでLEDウエハ全体を検査します。LEDウエハ全体の検査(スキャン)が終われば、判定結果をHMI画面に表示してオペレータに全LEDチップの良否判定を通知します。

検査精度 分解能 1μm
RGBカラー検査
モデルベースの検査
検査処理時間 2インチウエハ 2分~3分30秒

装置構成

CPU Intel  XEON プロセッサ 3.46GHz   6コア ×  2基搭載
メモリ DDR3 1333 48GB
OS Windows 7 Embedded 64bit
ストレージ システム用:SSD 40GB
データ用:HDD 1TB
画像取り込み 専用フレームグラバー + 搬送同期シャッタ
画像処理 Halcon画像処理ライブラリ + 独自並列処理
照明光学 同軸落射 + リング照明
カメラ カラー3板式ラインセンサ
ステージ制御 ステージ制御基板 × 1枚

並列処理

検査を高速で行うため、マルチコアCPUで並列処理を行います。

並列処理